二次电子分辨率优于0.9nm@15kV， 1.7nm@1kV
离子束和电子束双束交叉点（WD=5mm）二次电子分辨率优于2.3nm@1kV
离子束分辨率优于3.0nm@30kV
1.Gemini电子光学技术
2.出色的低电压电子束分辨率
3.可变气压模式
4.实现从大范围切割到纳米精度加工
5.三维重构功能
上一位：no!
上一位：热场发射扫描电子显微镜
离子束和电子束双束交叉点（WD=5mm）二次电子分辨率优于2.3nm@1kV
离子束分辨率优于3.0nm@30kV
1.Gemini电子光学技术
2.出色的低电压电子束分辨率
3.可变气压模式
4.实现从大范围切割到纳米精度加工
5.三维重构功能
