准分子激光器参数

波长

248nm

单脉冲能量

750 mJ

最大重复频率

50Hz

平均功率

33W

能量稳定水平(1 sigma)

≤0.75 %

脉冲宽度(FWHM)

25 ns

光斑尺寸(V×H, FWHM)

24×10 mm2

光束发散角(V×H, FWHM)

≤3×1mrad2

光斑指向稳定性(1 sigma)

≤50rad

冷却方式

水冷

重量

350Kg

工作电压、电流

230V±10%, 16A