微纳光学加工平台共享设备
设备名称: |
扫描电镜与电子束曝光联用系统 |
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型号: |
Sigma 500 |
主要参数: |
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分辨率： ≤0.8nm@15KV，1.6nm@1kV 放大倍率：20-1,000,000倍 电子枪：肖特基热场发射电子枪 加速电压：20V ～ 30 KV 可装载品尺寸大于200mm，样品高度不大于60mm 原装进口电子束曝光系统 电子束曝光分辨率小于50nm |
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运行维护人： |
李珊珊 |
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设备名称: |
3D高清晰度电子显微镜 |
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型号: |
VE-9800 |
主要参数: |
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倍率15 至 100000 倍； 观察范围9×7 mm 至1.3 × 1 µm； 辨识能力8nm 最大测试材料尺寸➢64 mm 测试材料载物台:轴 (X/Y/Z/旋转/倾斜)偏心方式 (X/Y/倾斜轴电动)X：32mm/Y：32mm/Z：8 至 30mm/旋转：360°/倾斜：－10 至 +90° |
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运行维护人： |
张楠 |
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设备名称: |
镀膜机 |
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型号: |
ZZS500-1/G |
主要参数: |
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手动/半自动操作； 自动膜厚控制； 可以蒸镀金属及特定非金属； 根据真空条件膜厚最低可以达到10nm； 采用高温蒸镀/电子枪蒸镀。 |
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运行维护人： |
郭兰军 |
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设备名称: |
刻蚀机 |
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型号: |
ICP-5000 |
主要参数: |
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刻蚀速率≥600Å/min； 电极尺寸φ200mm； 刻蚀室真空度8×10-5Pa； |
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运行维护人： |
郭兰军 |
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1. 送样人发送预约邮件到：nanolab@nankai.edu.cn，并抄送给导师（如果送样人是学生）。
邮件预约格式如下：
送样人姓名 |
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送样人联系方式（手机） |
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导师姓名（如果送样人是学生） |
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导师email |
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预约设备 |
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预约时间 |
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样品名称和数量 |
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实验内容 |
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备注 |
2. 送样人需提前确认：在大型仪器共享管理平台上已有账号（网址：less.nankai.edu.cn），且账号内有足够的余额用于当次测试机时费。如果没有账号，需提前在大仪平台上注册并交费。
3. 送样人需提前至少24小时提出预约（寒暑假期间需提前一周），预约申请以邮件形式发送至预约邮箱，并抄送导师，由实验室老师根据其它预约时间统筹安排后回复邮件确认。
