原子层沉积技术及应用

先进薄膜材料与表界面工程

新能源材料及器件

原子层沉积技术(Atomic Layer Deposition)是一种原子尺度的制造方法，基于表面交替的自限制化学反应，能够沉积均匀一致，厚度可控、成分可调的纳米/亚纳米材料。随着微电子、光电子、新能源、催化领域的快速发展，原子层沉积技术逐渐成为相关制造领域不可替代的技术，具有巨大的发展潜力和广阔的应用空间。本课题组在新能源材料及器件的研究中，将原子层沉积技术应用于表界面结构的精确设计和制造，并且实现了原子尺度的精准调控，重点研究表界面构效关系的关键科学问题。

欢迎对全固态电池、薄膜电池、金属-空气电池、电化学合成氨感兴趣的同学加入课题组。

工作经历：

刘俊庆，材料学博士，2016年加入南开大学材料科学与工程学院，主要从事纳米结构材料制备及器件化过程中的表界面问题研究。近年来，以第一及通讯作者发表论文10余篇，主持国家自然科学基金青年项目和天津市自然科学基金青年项目。

教育经历：

2014年10月-2015年09月 柏林自由大学 化学 联合培养博士

2012年09月-2016年01月 天津大学 材料学 工学博士

2010年09月-2012年07月 天津大学 材料学 工学硕士

2006年09月-2010年07月 天津大学 材料科学与工程 工学学士

个人及团队荣誉：

1.指导本科生参加第十七届“挑战杯”天津市大学生课外学术科技作品竞赛获得特等奖，并荣获“优秀指导教师”称号。

2.指导本科生参加第十八届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛终审决赛获得一等奖。

3.指导本科生获得南开大学本科生创新科研“百项工程”一等奖、二等奖。

4.指导本科生获得“南开大学本科生优秀毕业论文（设计）”（2023届、2024届）。

[1] H. Y. Jiang#, J. Q. Liu#, B. Tang*, Z. D. Yang, X. H. Liang, X. Yu, Y. Gao, J. P. Wei, Z. Zhou*, Regulation mechanism on a bilayer Li2O-rich interface between lithium metal and garnet-type solid electrolytes. Adv. Funct. Mater. 2023, 2306399. (#Contributed equally to this work)

[2] L. J. Liu, H. Y. Jiang, R. Q. Hu, Z. Y, Shen, H. R. Li, J. Q. Liu*, Tough lithium-rich organic film via molecular layer deposition for highly stable lithium metal anode, J. Power sources 2023, 555, 232395.

[3] Y. J. Yang, N. B. Zhang, Z. L. Zou, X. H. Yi, J. Q. Liu*, Atomic layer deposited Ru/Mo2C heterostructure for efficient nitrogen reduction and nitrogen evolution in Li-N2 battery, Chem. Eng. J. 2022, 435, 135148.

[4] S. Y. Zhu, Y. J. Yang, J. Q. Liu*, J. M. Sun, Carbon-confined ultrasmall T-Nb2O5 nanocrystals anchored on carbon nanotubes by pyrolysing MLD-niobiumcone films for enhanced electrochemical applications, J. Mater. Chem. A 2020, 8, 25371–25381.

[5] B. Tang, L. X. Gao, J. Q. Liu*, S. H. Bo, Z. J. Xie, J. P. Wei, Z. Zhou*, Surface modification of garnet solid electrolytes with amorphous SnO2 via atomic layer deposition, J. Mater. Chem. A 2020, 8, 18087–18093.

[6] X. X. Zhao, F. J. Chen, J. Q. Liu, M. R. Cheng, H. Su, J. B. Liu, Y. H. Xu*, Enhanced surface binding energy regulates uniform potassium deposition for stable potassium metal anodes, J. Mater. Chem. A 2020, 8, 5671–5678.

[7] S. Y. Zhu, P. H. Xu, J. Q. Liu*, J. M. Sun*, Atomic layer deposition and structure optimization of ultrathin Nb2O5 films on carbon nanotubes for high-rate and long-life lithium ion storage, Electrochim. Acta 2020, 331, 135268.

[8] S. Y. Zhu, J. Q. Liu*, J. M. Sun*, Precise growth of Al2O3/SnO2/CNTs composites by a two-step atomic layer deposition and their application as an improved anode for lithium ion batteries, Electrochim. Acta 2019, 319, 490–498.

[9] C. Y. Jin, J. Q. Liu*, J. M. Sun*, Near-infrared electroluminescence from metal-oxide-semiconductor devices with erbium-doped gadolinium oxide on silicon, Appl. Phys. Lett. 2019, 114, 211102.

[10] S. Y. Zhu, J. Q. Liu*, J. M. Sun*, Growth of ultrathin SnO2 on carbon nanotubes by atomic layer deposition and their application in lithium ion battery anodes, Appl. Surf. Sci. 2019, 484, 600–609.

毕业生升学及就业情况：

北京航空航天大学攻读研究生

天津大学精密仪器与光电子工程学院专业技术人员

比亚迪镀膜工艺研发工程师