本所科研将信息处理技术方面的传统优势与超快光学、微纳光学、太赫兹光子学等最新前沿技术融合,聚焦于通信与传感、光谱与成像及光场调控等研究方向,重点发展在飞秒超快、微纳尺度及太赫兹新频段条件下的突破传统时间和空间尺度极限的光学新技术和新方法。
本所拥有微纳光学加工平台、飞秒激光平台、非线性光学显微成像平台、材料光谱特性表征平台、光纤器件加工与测试平台等5个高水平开放研究平台;支撑超快光学与光谱成像技术、微纳光学与分子光电器件、太赫兹器件与显微成像技术、显示成像与微光学功能器件、光纤光子学与光通信传感技术等5个团队开展创新研究。
1、微纳光学加工平台
电子束曝光机、扫描电子显微镜、激光直写仪、等离子体刻蚀机、镀膜机、紫外光刻机、轮廓仪、原子力扫描显微镜、光学近场显微镜、光学轮廓仪、显微拉曼光谱测试系统、高性能计算工作站等。能够实现电子束曝光、激光直写、镀膜、去胶工艺、反应离子刻蚀、掩模光刻等从微米到纳米级分辨率的微纳光学器件的加工工艺。
2、飞秒激光平台
定制相干公司Legend Elite HE飞秒激光放大系统,重频选择80 MHz、10 KHz、5 kHz、1 kHz、10 Hz,脉宽选择10 fs 、25 fs、35 fs、200 ps,波长范围266 nm ~ 11 mm,脉冲能量最高7mJ,峰值功率200 GW)。
3、非线性光学显微成像平台
定制奥林巴斯FV300共焦显微镜融合相干公司Mira900飞秒激光器和 Princeton Instruments Spec- troPro750光谱仪系统,实现激光扫描显微、多光子荧光显微、拉曼光谱显微等多种功能自由切换。
4、材料光谱特性表征平台
太赫兹时域光谱仪,测量范围 0.1 ~ 4 THz(3 mm ~ 60 μm),0.5 THz信噪比 107 ,最小分辨率约1.8 GHz。BRUKER V70 傅里叶红外光谱仪, 测量范围为 400 ~ 12500 cm-1 ( 800 nm ~ 25 μm),最高分辨率 0.15 cm-1。荧光光谱仪,激发波长范围 190-1000 nm,检测范围 380-1000 nm,分辨率 2 nm,波长准确度1 nm ,信噪比250。普析TU-1901紫外可见分光光度计,测量范围190-900 nm,波长准确度0.3 nm。BioTek® 微孔板分光光度计,波长范围200-1000 nm,分辨率5 nm,96孔板。
5、光纤器件加工与测试平台
光纤器件多参数测试分析仪,用于测试、分析各种光纤无源器件的插入损耗和偏振相关损耗谱, 测量无源和有源器件输出激光的偏振消光比、偏振态(SOP)、偏振度(DOP)以及偏振模式色散(PMD)等特性;德国TUL-LASER公司M-100型 准分子激光器光纤光栅写制装置;日本YOKOGAWA公司的AQ6375 长波长光谱分析仪,检测波长范围1200nm~2400nm,分辨率0.05nm;二氧化碳激光器光纤微加工及光纤光栅写制装置两套、光纤拉锥机、保偏熔接机、通用光纤光谱仪、超连续及宽带光源、宽带可调谐激光器、自相关仪等其它光纤有源和无源器件加工、测试与表征所需的较完备的设备。